激光束输送系统LINEBEAM系列

LINEBEAM LINEBEAM系统是在具有最高产量的大型基板面板上进行LTPS背板的大规模制造光学技术。为Gen 10.5提供高达1500毫米长的线束轮廓，最高尺寸为10.5。具有短期和长轴光束均匀性，可用于最大吞吐量和光束利用。卓越的脉冲稳定性和高景深确保了一个大的过程窗口。LINEBEAM - 一些关键性能指标从跳线的顶部帽子梁轮廓中受益，在短轴和长轴下具有出色的均匀性，所有均匀性都处于308 nm的短波长。