精确,线性流量控制在闭环系统具有超高分辨率和可重复性。Cordis流量控制器在比例阀上游采用了一个非常快速反应的mems技术传感器,并可选择DR-2调节器,在一个小组件中实现精确和精确的压力控制。与其他需要30分钟预热时间、大压差和有限流量范围的质量流量控制器不同,Cordis需要不到1分钟的预热时间,压降≤14”H2O,流量范围低至0 - 30 sccm。标准控制选项包括0.2至10 VDC, 4.32至20 mA, 3.3 VDC Serial。主要Cordis优点:- 50:1调低比-小巧的尺寸和重量-≤14" H2O压降- <1分钟预热-多个低流量范围- < 50ms响应时间-≤25mv分辨率-可选集成调节器- OEM风格卡单元或IP65安装在轻工业应用的Cordis流量控制器采用微控制器,积分流量传感器,DR-2调节器和一个比例阀。供气连接到调节器,精确地维持流量传感器和Clippard EVP或DVP比例阀的压力。当命令增加时,比较电路打开阀门,允许流量通过板载流量传感器。这为微控制器提供了一个主动反馈信号,以满足过程中的流量设定值。如果流量传感器在任意点检测到一个高于或低于设定值命令的值,比例阀将调节更多或更少的输出,以保持过程中流量的稳定和精确控制。