线性致动器是用于线性运动定位的电动机。由于我们的高精度交流伺服技术转换为线性运动,而不使用齿轮,因此可以进行精确和高分辨率定位。它用于电子显微镜和光刻机应用。小型化的AC伺服电动机线性致动器是一种直线致动器,实现高精度定位以及小型化和减轻重量。电动机部分利用空心交流伺服电动机,而编码器部分利用小型化和高分辨率的光学旋转编码器。由于其直接设计不利用诸如齿轮等部件,因此可以进行精确和高分辨率的定位。除了上述特性外,MAB和MALB系列还利用滚珠丝杠,允许实现高速和长寿寿命。同时,MALS和MALB系列具有卓越成本性能的型号,在维持高精度定位时实现了大规模成本降低。为此目的,专门开发了电气伺服电机线性执行器的多功能驱动器,其既紧凑,轻巧。由于它具有正弦波电导率和低增益,因此在定位期间提供平稳的操作和零振动,这是线性执行器至关重要的特点。 They can respond relatively easily to environments such as vacuums and clean rooms, meaning they can be used in a wide variety of fields. A few examples include industrial machinery (e.g. optical devices, semiconductors), measurement and test machinery.