SibrickScan(SBS)是一种专用的型在完全硅锭中的间质氧气量化的局部系统,导致沿纵向轴线的精确浓度曲线。在不锯切晶片或测试样品的情况下访问此信息是一个主要和成本节省的优势:在锯切之前符合单个锭并优化Si结晶过程!独特的SBS功能:•可实现的氧气检测限值高灵敏度<2 PPMA•高质量校准直接连接到ASTM /半1188•可用于不同直径的方形和圆柱形锭•具有集成参考样品的创新高灵敏度光束路径•直观且舒适用户界面•自动化数据评估•工业兼容和强大的设计,具有精确的线性驱动器•液体N2自由红外探测器