流动压力控制器PC100系列

精确

压力下的精度。精确控制。PC100系列压力控制器和仪表结合了许多高性能技术功能，可为要求的半导体，蒸气沉积和其他超专业制造工艺提供新的压力控制精度和可靠性。PC100系列建立在经过验证的Brooks GF100质量流量控制器技术上，具有高纯度全金属流道，增强的传感器技术专门设计用于消除传感器漂移以及用户界面和设备诊断功能，使操作设备更加容易地进行设备评估和故障排除，导致服务中断有限并减少停机时间。功能•响应时间：<1秒•全尺度流速高达10 slm•换能器压力范围：1000 TORR FS•全金属密封流路径：5µ英寸RA表面饰面•带有嵌入式流量表的PC125包括高度腐蚀 -耐药Hastelloy®C-22流动传感器与高速臂处理器结合•快速作用的无透明阀组件•高可见性LCD显示屏带有易于访问的按钮，可访问局部迹象，以局部指示流动，温度和网络地址•独立诊断/服务端口•DevicEnet™协议受益高性能组件可以快速响应和设定时间改善压力控制减少转移的气体消耗和相关的减排成本，所有金属，耐腐蚀的半F20兼容半符合性的兼容润湿流动路径，总体减少表面积和未彻底的表面积可确保在清除步​​骤中更快的干燥速度长期热或压力传感器设备稳定性可最大化产量和吞吐量