适用于Process EL-Flow®声望的高性能MFM / MFC,最新一代热质量流量计和气体控制器,代表了多功能性和用户友好性的真正接地偏移。其主要客户福利是基于流量信号处理的进一步前进,以及高度稳定的流量控制方案,这些流量控制制度几乎不透水以处理波动。EL-Flow Prestige配备了板载气体转换模型,包括100个独特的客户可选气体的气体数据库。基于N2的流量范围:•最低范围0,014 ... 0,7 MLN / min•最高范围2 ... 100 LN / min特性•高精度(标准0.5%RD加0.1%FS)•数字模式的范围高达1:150•极快和动态响应•多气体/多范围功能(100个可选气体;可缩放40%-120%或有序能力(FS值)•压力额定值10/64 /100 BAR•模拟I / O信号,RS232连接;可选的板载现场总线接口•各种定制I / O选项•用户可配置控制特性•鲁棒金属外壳应用•分析/环境设备•食品中的气流监测,化学和石化工业•内部会计用途的气体分配系统中的气体消耗测量•通过物体检测气体泄漏•半导体制造•表面处理装置