UNHT³HTV高温纳米压痕测试仪是一种低负荷纳米力学测试系统,用于测量薄膜和涂层在800℃以下的硬度和弹性模量。专利的UNHT技术结合独特的加热技术,在任何温度下都能提供高稳定性的解决方案。•在环境条件下的最低热漂移(< 0.5 nm/min)和整个温度范围(106 N/m)和最低帧合规(<<0.1 nm/mN):两个独立的深度和负载传感器结合高分辨率电容传感器的真正深度和负载控制模式。•高真空系统,5轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统,可以在测量过程中关闭主泵,使泵的振动最小化。•独特的加热管理(3项专利正在申请中),包括3个红外(IR)加热器,用于压头,参考和样品,以及4个热电偶,用于控制样品表面温度至0.1°C。•符合ISO 14577和ASTM E2546技术规格。噪声地板0.5 [rms] [μN]*深度最大。噪声地板0.15 [rms] [nm]* *理想实验室条件下使用抗振动台指定的噪声地板值。