残留气体分析仪Dycor®LC-D系列

监视 便携的 成本效益

Dycor LC-D系列残留气体分析仪（RGA）提供出色的性能，但价格是市场上最具成本效益的RGA。LC-D系列仪器是由与超高真空（UHV）系统兼容的材料构建的，旨在最少的维护。该多功能RGA非常适合于高真空范围内半导体和薄膜过程的UHV系统和设备监测。加上系统2000软件（32位，多线程，并设计用于Windows 98到Windows 8），LC-D提供了与价格较高的仪器相关的高级功能。LC-D系列RGA包括Dycor的1-100 AMU-RANGE开放离子源分析仪头，带有双丝丝和Faraday杯检测器，电光前置放大器和带有以太网端口的RF电源，用于接口到PC。选项包括1-200个AMU范围和1-300 AMU范围，以及通道板电子乘数。警报 - 每个数据通道都有低警告，警告高和高警报。自动调节 - 自动设置RF -Tune，质量位置和分辨率。打印 - 打印一个，一些或所有数据显示。以太网连接-10/100Base -T以太网 - 自动传感。 Software Features Ethernet Connectivity: 10/100BASE-T Ethernet - Auto-Sensing Variety of operating modes including Analog and Bar, Meter, Annunciator, Tabular, Trend, and Leak Detection Custom modes to combine display windows from other modes Data that can be viewed in real time or saved to a file for later retrieval and comparison with current spectra