设计特点•六自由度定位与线性旅行110毫米和角前往40°•精密设计,保证定位精度规格•最小增量运动20 nm XYZ和0.2μradθxθyθz•灵活配置和定制•可用真空制备要求•强有力的控制Aerotech的HexGen®hexapods代表了下一代六自由度(DOF)定位性能。HEX500-350HL是一种高负载、超精密的六足机器人,非常适合应用于x射线衍射、传感器测试和高力设备操作。在运动系统的设计和规范中存在许多权衡。凭借其高负载能力、大行程、高速度和亚微米精度,HEX500-350HL不强迫您在应用规格上妥协。卓越的结构设计HEX500-350HL由6个高精度支柱驱动,这些支柱由精密预紧轴承、滚珠丝杠和驱动组件组成。与由直流有刷伺服电机驱动的竞争性六足电机不同,HEX500-350HL由交流无刷,无槽伺服电机驱动,最大限度地延长设备寿命和性能。与使用皮带、齿轮头或柔性联轴器的竞争设计相比,伺服电机直接耦合到执行器滚珠丝杠上,从而提高了驱动刚度,更高的定位精度,以及更好的最小增量运动(XYZ为20 nm, θxθyθz为0.2 μrad)。支柱枢轴关节设计提供低摩擦和高刚度,提高整体六足性能。