具有数字信号处理设计的DFC可编程热质量流量控制器具有机构和模拟模式,操作来自0到10 SCCM的OVINABLABMEABLE配置,最高可达0到100个SLPM omaximum 1000 PSIG(70 BARS)OMULTI-DROP功能到256个单位,最多10个气体的校准数据Ototalizer表示高低气体流动OCONVersion因子的总气体量oalarm限制最多256个气体OAUTO调谐功能,用于最佳控制响应Oself诊断测试DFC数字质量流量控制器微处理器驱动的数字流量控制器允许通过RS-485接口(可选RS-232可选RS-232)来编程,记录和分析各种气体的流量速率。控制器可以针对各种控制功能进行编程,包括流量设定点,累加器,停止累加器,读取累加器,累加器从预设流量,停止在预设,自动零等。操作性气体原理被分成两个层流路,一个通过主要流动导管,另一个通过毛细管传感器管。两个流动导管都设计为确保层流流,因此流速的比率是恒定的。传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热,并且当流动发生时,气体从上游绕组带来热量。得到的温差与传感器绕组的电阻的变化成比例。