激光干涉仪PhaseCam 4000兆瓦

流 多次波

PhaseCam 4000 MW动态激光干涉仪是为下一代多镜望远镜系统的对准和相位而设计的。PhaseCam MW使用多个波长来测量大的步长，具有1000 x 1000消色差相位传感器，能够测量深达10毫米的特征。快速多波采集在短短30微秒允许测量，即使在振动和空气乱流的存在。PhaseCam MW的实用性扩展到振动禁止使用传统激光干涉仪的应用，如在线过程控制。其他应用，如测量MEMS结构的相对倾斜和高度，受益于PhaseCam MW的大动态范围。